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TWI426576B - 測量氧化層厚度的方法 - Google Patents

傳統上，氧化層的厚度可以使用橢圓測試儀量測，由反射光平行分量的振幅、垂直分量的振幅以及相位偏移來分析氧化層之厚度與折射率。另一方面，氧化層之厚度也可以透過金氧半 ...

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