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微電子純銅表面氧化層整合分析之研究Electrochemical and ...

銅片的CuO 與. Cu2O 層有較明顯的分界，而電鍍銅無明顯分界，. 氧濃度變化較具連續性。陰極還原的厚度計算結. 果與XPS 結果相近，誤差均小於2%，且FTIR 測. 得之極表面氧化 ...

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