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氣體純度規格表示

Impurity 以數字表示, Impurity純度以術語表示. 普通純度, 99.99%, 4N, N 即nine 之意. 高純度, 99.995% 以上, 4N5. 超高純度, 99.9995% ~ 99.9995%, 5N ~ 5N5 ...

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