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摩爾定律的華麗謝幕：EUV微影機

此時準分子雷射(excimer laser)的光源就應運而生了，它是利用惰性氣體與 ... 射二極體或準分子雷射，EUV屬於此類。然而要產生EUV的光源，就需要將原子 ...

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