特殊氣體是一翻譯自國外之氣體類別,在國內法規上並無此名稱,但在企業界,由於其 ... 腐蝕性氣體:Cl2 、F2 、HCl 、HBr 、WF6 、NH3 、 NF3 、BCl3 、SiF4 、AsH3 ...
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