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气体流量

Pa m 3 / s = W mbar l / s torr l / s atm cm 3 / s lusec sccm slm mol / s Pa m 3 / s 1 10 7.5 9.87 7.5·10 3 592 0.592 4.41·10‑4 mbar l / s 0.1 1 0.75 0.987 750 59.2 5.92·10‑2 4.41·10‑5 torr l / s 0.133 1.33 1 1.32 1,000 78.9 7.89·10‑2 5.85·10‑5

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