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新能源材料及其应用技术: 锂离子电池、太阳能电池及温差电池

... 气体流量比: SiFA / H SiHa = 60 / 2.5 / 0.1 sccm 【注] sccm 是 standard cc / min , 1 大气压下, 0 °C (有时 25 °C )时每分种的流量用立方厘米来表示的单位。

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