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半導體製程設備技術 - 第 374 頁 - Google 圖書結果

然而控制氣體流體最直接且最方便的方法就是測量該氣體的流量。 ... 故一般仍以特定之溫度,密度條件下之質量流量以體積流量(cc/min)表示之或是以sccm為單位表示。

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