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含氟蚀刻气体有哪些？ - 福建德尔科技

含氟蚀刻气体有哪些？ 发布时间：2019-10-11 | 游览：786. 内容摘要：现在，含氟蚀刻气体是一把无形的“刀”，被广泛应用于半导体或LCD前段制程，甚至可以在微米厚的薄膜 ...

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