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氣體性質
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电子四氟化碳CF4气体性质 - 氦气
电子四氟化碳CF4气体性质 · 性状: 四氟化碳为永久气体,在常温常压下为无色无臭的气体。 · 用途: 四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,可广泛应用于电子 ...
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