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氣體分析儀原理
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實驗二測漏
了解真空系統中的漏氣現象與放電管原理,並學習如何利用放電管及測漏。 二、實驗儀器 ... 殘留氣體分析儀(Residual gas analysis, RGA) 本身為一質譜儀,.
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