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ABB - 沃亞科技

... 雷射氣體分析儀主要應用於潔淨室AMC的氣體監測，此儀器採用LGR-ICOS分析原理對半導體製程及其周遭環境進行監測。927S Analyzer可量測的氣體包括HF, HF+HCl…

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