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真空系統抽氣曲線之模擬與軟體開發 - NTU Scholars

本論文提出一方法來模擬真空腔體內壓力對於時間之抽氣曲線，所用之理論包括氣體定律、對於不同氣流狀態之氣導、管件之等效長度、釋氣、擴散與滲透等。

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