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四種壓力感測器的基本工作原理及特點 - 道客文檔

壓阻式壓力感測器是由平面應變感測器發展起來的一種新型壓力感測器。它以矽片作為彈性敏感元件，任該膜片上用積體電路擴散工藝製成四個等值導體電阻，組成 ...

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