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抓出半導體製程中的魔鬼－晶圓表面汙染

... 質量數的金屬如鈉、鎂、鋁等，會有偵測極限偏高的現象；鋰、鈹、硼元素則 ... 在 VPD 或 VPT 系統串聯使用中，不論是商業化機台，或是自行設計組裝的系統， ...

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