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太陽能光電技術 - 第 92 頁 - Google 圖書結果

一般使用氫氟酸洗去磷玻璃,其化學式為: SiO 。十 6HF 一> HSiF 。十 2HO 其中 HSiF 。可以溶於水而去除。若以電漿蝕刻處理,其通常將晶片堆疊放置,使用 CF 」加上 O ...

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