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CN101497074A - 一种去除半导体制程中氟残留的方法

一种去除半导体制程中氟残留的方法，涉及半导体工艺领域，包括如下步骤：a.用去离子水浸泡相关部件 ... 晶盒的材质主要是Polyetheretherketone(聚醚醚酮），其化学式为.

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