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步進式曝光機
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https://www.bg3.co/a/jin-tian-neng-fou-xiang-yan-zhi-liang-dan-yi-xing-na-yang-gong-ke-guang-ke-ji.html
今天能否像研製“兩彈一星”那樣攻克光刻機? - 天天要聞
所謂步進式,就是每次曝光時,不曝光整個晶圓,而是一部分一部分地曝光。 ... 和5納米制程的極紫外光刻機,每小時曝光的12英寸晶圓數量到達160片。
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