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步進式曝光機
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http://ir.lib.ntust.edu.tw/handle/987654321/50242?locale=en-US
Item 987654321/50242 - 臺灣科技大學機構典藏NTUSTR
... 能製作大面積微結構的曝光機。相較以往的顯微鏡微影系統,本系統單次曝光面積大,能製作出的微結構數量更多,配合高規格電控平台的步進式移動曝光 ...
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