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步進式曝光機
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德國先進封裝設備領導商休斯微進駐竹科 - Yahoo奇摩
... 掃描式曝光機與傳統的步進投影技術相比,可提供較佳的成本效益,並符合晶圓級系統整合所需要的大尺寸晶片無接縫曝光;光罩製程設備使用獨特的背面 ...
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