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EUV?DUV?什麼是曝光機(光刻機)，一看就懂超簡單

步進掃描式(step-and-scan). 這可就是上面兩個的綜合體了，也是現在ASML的最新EUV機台所使用的方式。 我們依序曝光每一個區塊，像是步進式這樣。

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