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步進式曝光機
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義守大學工業工程與管理學系
關鍵詞:金凸塊、微影製程、實驗設計、全式要因法 ... 分,通常所使用的縮影比例為5:1 或4:1,因此它必須在曝光機上步進且重複動作。光. 罩必須是非常潔淨的,以在晶圓 ...
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