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步進式曝光機
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https://news.4k3.org/archives/3038259
日美光刻機大戰,這位中國人幫助ASML打敗日本,壟斷全球市場
而GCA的自動化步進式光刻機實現瞭光刻過程中,掩模和矽片的同步移動, 並且采用瞭縮小投影鏡頭,縮小比例達到5: 1, 有效提升瞭掩模的使用效率和曝光精度,將芯片的制程和 ...
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「步進式曝光機」
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