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步進式曝光機
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黃光微影製程技術
重覆步進式對準(step and repeat). 相位轉移光罩 ... 類似投影機原理,將光罩上的圖. 形投影到光阻上。 ... 電子束曝光系統的優點就是可以直接生產所需的圖.
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