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步進式曝光機
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投影式光刻机Projection Stepper(Projection Photoetching
投影式光刻机一般采用步进-扫描式曝光。光源并不是一次把整个掩模上的图形投影在晶圆上,曝光系统通过一个狭缝式曝光带(slit)照射在掩模上,如 ...
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