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步進式曝光機
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摘取光刻机皇冠上的明珠——ASML
➢ 光刻机经历了5代产品发展,光源波长从436nm缩小到13.5nm;目前主流的曝光方式是. 步进扫描式。 □ 全球光刻机市场主要由荷兰的ASML、日本尼康(Nikon) ...
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