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光刻機到底是什麼？頂級光刻機只有ASML製造？他們延遲出貨 ...

1980年代，美國SVGL公司開發出第一代步進掃描投影曝光機，積體電路圖形 ... 調平調焦技術，因為光刻機在工作時拼接圖形和步進式掃描曝光的次數很多。

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