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步進式曝光機
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光刻機的發展歷程及現狀– News TA16
接觸式光刻機具有分辨率高、精度好、曝光設備簡單等優點,而且由於晶圓與光罩直接 ... 光學投影光刻機和X射線光刻機、一倍寬帶掃描機等看起來像是步進式光刻機成熟前的 ...
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