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步進式曝光機
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今天能否像研製「兩彈一星」那樣攻克光刻機? - 新華澳報
所謂步進式,就是每次曝光時,不曝光整個晶圓,而是一部分一部分地曝光。 ... 和5納米制程的極紫外光刻機,每小時曝光的12英寸晶圓數量到達160片。
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