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步進式曝光機
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從CGA到ASML:來看看世界上最早的幾種光刻機長什麼樣
1980年代,美國SVGL公司開發出第一代步進掃描投影曝光機,積體電路圖形線寬從0.5μm縮小到0.35μm節點。 1980年代的主流是步進式光刻機;再到步進式掃描 ...
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「步進式曝光機」
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