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步進式曝光機
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什麼是步進掃描光刻機?國產光刻機與ASML差距多大?
步進式 掃描光刻機的工作原理是,單場曝光採用動態掃描方式,即掩模板相對晶圓同步完成掃描運動;完成當前曝光後,晶圓由工作檯承載步進至下一步掃描場 ...
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「步進式曝光機」
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