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德揚曝光機產能高二倍每分鐘最高6片基板 - 經濟日報

外界看待先進曝光機成為中國發展半導體的致命要害，嚴重阻礙發展進程。 ... 高產量曝光機、全自動雙面曝光機等，售價不到千萬元，較半導體步進機開價 ...

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