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步進式曝光機
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曝光機 - 銘乾的分享空間
邱銘乾所撰寫有關曝光機的文章. ... 內保護盒(Inner POD)整體是跟一台造價高達1億美金的EUV微影步進機(EUV Scanner)內部光罩存取機構要相互匹配的結構 ...
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