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步進式曝光機原理
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光刻機霸主阿斯麥封神之路 - sa123
步進式 掃描光刻技術的原理是,光線透過掩膜板上的狹縫照射,晶圓與掩膜板相對移動。完成當前掃描後,晶圓由工作臺承載,步進至下一步掃描位置,進行重複曝光。
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