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步進式曝光機原理
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半導體解密:ASML曝光機憑什麼能一廠獨大?台積電總 ... - T客邦
晶片之於曝光機,就如同人和大腦的關係,但縱覽幾十年全球球光刻機產業的 ... 曝光時模板緊貼晶圓;以及利用短波長雷射和類似投影機原理的步進式曝光 ...
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