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步進式曝光機原理
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隨世代持續演進,中華凸版提供的光罩解決方案 - TCE
中華凸版及母公司-凸版印刷不斷投資電子束描繪機台,擁有先進的EBM6000 ... 製造過程中,在光罩的圖案被微縮並且多次在矽晶圓上曝光而步進機( 例如,微縮投影型曝光機) ...
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