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步進式曝光機原理
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對華禁售的阿斯麥高端曝光機,憑什麼做到了「一家獨大」?
步進式曝光機 採用縮放投影的方式,把掩膜板的圖形,縮小到原來的1/4到1/5再投射 ... 所謂「浸潤原理」 就是在晶圓光刻膠上方加一層水,水的介質折射率 ...
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「步進式曝光機原理」
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