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步進式曝光機原理
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https://www.ey.gov.tw/File/278A5FA148C61B1A
科技部(財團法人國家同步輻射研究中心) 「突破半導體物理極限 ...
近三年主要績. 效. 1. 小型步進式曝光機(5μm)與對準式曝光機(2μm)之系統組裝、測試與優化,. 整合投影鏡頭、光源系統、光罩/晶圓對位平台與整機結構等,此技術將.
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