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投影式光刻机Projection Stepper（Projection Photoetching

投影式光刻机_概述图.png. （d）掩模狭缝投影成像原理. 图1 步进-扫描式光刻机曝光方式示意图. 曝光扫描结束后，曝光系统步进式移动到下一个位置。

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