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步進式曝光機原理
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半導體產業不可或缺的曝光機,是「這些企業」的心血結晶!
△EUV 曝光機的內部工作原理(來源: ASML ) ... 第一次為為AEG Telefunken 生產了第一個用於電路板打印機(當今晶圓步進機和掃描設備的前身)的鏡頭 ...
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