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曝光機— Google 藝術與文化

可以分為兩種，分別是模板與圖樣大小一致的contact aligner，曝光時模板緊貼晶圓；以及利用短波長雷射和類似投影機原理的步進式曝光機或掃描式曝光機，獲得比模板更小 ...

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