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ASML曝光機憑什麼一廠獨大？ - 大昌證券樹林分行 - Matters

可以分為兩種，分別是模板與圖樣大小一致的contact aligner，曝光時模板緊貼晶圓；以及利用短波長雷射和類似投影機原理的步進式曝光機（ ...

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