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從頭了解光刻機 - YouTube

1980年代，美國SVGL公司開發出第一代步進掃描投影 曝光機 ，集成電路圖形 ... 調平調焦技術，因為光刻機在工作時拼接圖形和 步進式 掃描曝光的次數很多。

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