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Y1D25—半导体光刻技术概述 - 知乎专栏

第三代步进投影式光刻机(DUV step-and-repeat)，曝光方式变为步进式，工艺 ... 投影式光刻技术(projection lithography)是采用透镜成像的原理，将mask上的图案曝光转移 ...

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