... 電漿態。電漿內包含了帶正電的離子、帶負電的電子與中性原子,故永遠保持在電中性的狀態。 乾蝕刻(Dry Etching). 乾蝕刻是以電漿蝕刻(Plasma Etching),而非濕式的溶液,電 ...
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