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歐傑暨化學分析電子掃描微探儀AES - Latax

AES具有奈米級單點分析以及極表面＜10nm 的分析能力，搭配機台內離子槍蝕刻Ar 可得到各層元素在不同深度間的分布比例。 光光電子能譜儀XPS/ESCA iST宜特.

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