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全晶圓式歐傑電子質譜缺陷檢測分析設備的性能與應用

XPS 化學位移chemical shift 分析當電子跳躍至低軌域所放射出之特性X 光，亦可能造成個 ... 因輕元素較重元素容易產生歐傑電子，靈敏度亦較差，由螢光產率fluorescence ...

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