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量測/鑑定五時機精準判定善用表面分析尋找製程缺陷 - 新電子雜誌

圖1 歐傑電子能譜分析IC鋁墊表面殘留成分與氧化層厚度的縱深分析 ... 對於樣品大於十微米以上的表面另可採用XPS進行表面分析，其激發源為X光，能分析 ...

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