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材料分析Part C-1 表面分析儀– 1/2 歐傑電子能譜儀(AES)

因此物理學上將這些儀器劃分為表面分析儀器，一般材料分析實驗室常用的有歐傑電子能譜儀(AES)，X射線光電子能譜儀(XPS)，二次離子質譜儀(SIMS)。

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