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ASML在台灣推進2奈米研發申請補助案最快5月拍板 - 中央社

經濟部官員表示，審查重點為如何提升本土技術、國產自製率；目前台廠供應鏈已具備深紫外光（DUV）設備中的光罩傳輸模組製造能力，這次艾司摩爾計劃案 ...

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